Kokie ypač aukšto grynumo reikalavimai reglamentuoja puslaidininkių vamzdžius?
ASTM BPE standartai nurodo paviršiaus apdailą. Dalelių skaičius turi atitikti 1 klasės švarų lygį. Išsaugoję specifikacijos užkerta kelią užterštumui. Elektroninis paieška pašalina mikrosurfinių paviršių trūkumus. Pasyvavimas sukuria chromo turtingus paviršiaus sluoksnius.
Kaip lustų augalams patvirtinamos orbitos suvirinimo sistemos?
Suvirinimo parametrų kvalifikacija kiekvienai medžiagai. Išvalykite dujų grynumo patikrinimą suvirinimo metu. Suvirinimo kupono bandymai dėl paviršiaus šiurkštumo. Dalelių generavimo tyrimai. Atsparumo korozijai patvirtinimas proceso chemikaluose.
Kokie specialūs valymo protokolai paruošia vamzdžius puslaidininkių aptarnavimui?
Cheminis valymas pašalina organinius likučius. Didelio grynumo vanduo skalauja iki 18 megohm-cm. Azoto apsivalymas apsaugo nuo perterpimo. Švaraus kambario surinkimo sąlygos. Galutinis patikrinimas tamponų bandymais ir dalelių skaitikliais.
Kaip išbandomos „Ultra-Pure“ dujų pristatymo sistemos?
Helio nuotėkio bandymas iki 1x 10-9 ATM-CC\/SEC. Išvalytų dujų mėginių dalelių skaičiavimas. Drėgmės ir deguonies analizė. Slėgio skilimo bandymas ilgesniais laikotarpiais. Proceso inžinierių galutinis pažymėjimas.
Kokios dokumentacijos pridedamos puslaidininkio lygio vamzdynai?
Medžiagos sertifikatai su visu atsekamumu. Kiekvieno jungties suvirinimo parametrų įrašai. Švaros patvirtinimo ataskaitos. Pasyvavimo sertifikavimo dokumentai. Galutiniai išleidimo bandymo rezultatai ir QA patvirtinimai.
